Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170043580 |
HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 497-502 |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 98 : 6th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1-3, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998 |