Development of methods for the application of the finite element method in the system optimization of microsystem components
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170043581 |
| HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 485-90 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 98 : 6th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1-3, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998 |