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Development of methods for the application of the finite element method in the system optimization of microsystem components

Quinte, A.; Halstenberg, S.; Süss, W.; Eggert, H.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170043581
HGF-Programm 41.03.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 485-90
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 98 : 6th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1-3, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998
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