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Design optimization considering tolerance effects of microoptical benches

Sieber, I. ORCID iD icon; Eggert, H.; Guth, H.; Jakob, W.; Scherer, K. P.; Ziegler, P.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170043582
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 65-70
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] Micro System Technologies 98 : 6th Internat.Conf.on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Potsdam, December 1-3, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998
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