Miniaturized piezo electric chopper for fiber optical multimode applications realized using LIGA-technology

Freyhold, T. von; Debeda, H.; Krippner, P.; Mohr, J.; Wallrabe, U.; Wengelink, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170043904
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	75-76
Erscheinungsvermerk	Proceed. Optical MEMS'98, IEEE/LEOS Summer Topical Meetings, Monterey, Calif., July 20-24, 1998 Digest