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Fully batch fabricated LIGA actuators integrated on piezoelectric ceramic substrates

Debeda, H.; Mohr, J.; Rembe, Ch.; Schulz, J.; Wallrabe, U.; Wengelink, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170043905
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 54-57
Erscheinungsvermerk Actuator'98, Bremen, June 17-19, 1998 Proc.of the 6th Int.Conf.on New Actuators
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