Fully batch fabricated LIGA actuators integrated on piezoelectric ceramic substrates
Debeda, H.; Mohr, J.; Rembe, Ch.; Schulz, J.
; Wallrabe, U.; Wengelink, J.
; Wallrabe, U.; Wengelink, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170043905 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 54-57 |
| Erscheinungsvermerk | Actuator'98, Bremen, June 17-19, 1998 Proc.of the 6th Int.Conf.on New Actuators |