Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170043905 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 54-57 |
Erscheinungsvermerk | Actuator'98, Bremen, June 17-19, 1998 Proc.of the 6th Int.Conf.on New Actuators |