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ARXPS-, SEM- and SFM-studies of galvanic deposited, sputtered and evaporated Au films

Henzi, P.; Regier, M.; Bade, K. ORCID iD icon; Paoli, M. de; Halbritter, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170043918
HGF-Programm 41.02.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 115
Erscheinungsvermerk 10.Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA10), Kaiserslautern, 6.-10.September 1998 Beitragskurzfassungen
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