Requirements on LIGA-mask technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170044541 |
| HGF-Programm | 41.04.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 197 |
| Erscheinungsvermerk | Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components '98 : Lectures Held at the GMM Conf., München, November 16-17, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998 (GMM-Fachbericht ; 25) |