KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Requirements on LIGA-mask technology

Pantenburg, F. J.; Achenbach, W.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170044541
HGF-Programm 41.04.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 197
Erscheinungsvermerk Mask Technology for Integrated Circuits and Micro-Components '98 : Lectures Held at the GMM Conf., München, November 16-17, 1998 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 1998 (GMM-Fachbericht ; 25)
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page