Mechanismen zur Reduktion von Eigenspannungen magnetrongesputterter c-BN:C-Schichten
Ulrich, S.; Kratzsch, A.; Leiste, H.; Stüber, M.; Schlossmacher, P.; Holleck, H.; Binder, J.; Schild, D.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Nukleare Entsorgung (INE) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170044567 |
| HGF-Programm | 42 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 37-42 |
| Erscheinungsvermerk | Dimigen, H. [Hrsg.] Werkstoffwoche '98, München, 12.-15.Oktober 1998 Weinheim [u.a.] : Wiley-VCH, 1999 Bd.IX. Symp.11 - Oberflächentechnik |