| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projektträgerschaft Fertigungstechnik und Qualitätssicherung (PFT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170044697 |
| HGF-Programm | 90 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 91 |
| Erscheinungsvermerk | Micro Engineering 98 : Kongress für Microsysteme und Präzisionstechnik, Symp.Fertigung miniaturisierter Teile, Stuttgart, 15.-16.September 1998 Proc. |