KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Micromechanical LIGA-gyroscope

Schumacher, K.; Krömer, O.; Wallrabe, U.; Mohr, J.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170044938
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 1574-77
Erscheinungsvermerk Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999 Digest of Technical Papers, Vol.1 Tokyo : The Institute of Electrical Engineers of Japan, 1999
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page