Micromechanical LIGA-gyroscope

Schumacher, K.; Krömer, O.; Wallrabe, U.; Mohr, J.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Hauptabteilung Prozessinstrumentierung und Elektronik (HPE) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170044938
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	1574-77
Erscheinungsvermerk	Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999 Digest of Technical Papers, Vol.1 Tokyo : The Institute of Electrical Engineers of Japan, 1999