Simulation of a micro optical distance sensor realized by the LIGA process
Guth, H.; Hellmann, A.; Sieber, I.
; Eggert, H.; Mohr, J.; Nakajima, H.; Tanimot, K.; Usami, T.
; Eggert, H.; Mohr, J.; Nakajima, H.; Tanimot, K.; Usami, T.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170045160 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 667-70 |
| Erscheinungsvermerk | MSM 99 : Technical Proc.of the 2nd Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems, San Juan, Puerto Rico, April 19-21, 1999 Boston [u.a.] : Computational Publ., 1999 |