| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170045207 |
| HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 526-40 |
| Erscheinungsvermerk | Ehrfeld, W. [Hrsg.] Microreaction Technology: Industrial Prospects ; Proc.of the 3rd Internat.Conf., Frankfurt, April 18-21, 1999 Heidelberg : Springer, 2000 |