Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170045207 |
HGF-Programm | 41.06.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 526-40 |
Erscheinungsvermerk | Ehrfeld, W. [Hrsg.] Microreaction Technology: Industrial Prospects ; Proc.of the 3rd Internat.Conf., Frankfurt, April 18-21, 1999 Heidelberg : Springer, 2000 |