Si micromechanical fiber-optic switch with shape memory alloy microactuator
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170045552 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 790-93 |
| Erscheinungsvermerk | Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999 Digest of Technical Papers, Vol.1 Tokyo : The Institute of Electrical Engineers of Japan, 1999 |