Linear microactuators
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170045848 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Ferreira, L.O.S. [Hrsg.] Textbook of the 5th Brazilian School of Microelectronics: Microsystems - MEMS, Campinas, BR, May 3-7, 1999 Sociedade Brasileira de Microelectronica, 1999, Caderno 7 |