| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170046072 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 132-37 |
| Erscheinungsvermerk | Dötzel, W. [Hrsg.] 4.Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik, Chemnitz, 11.-12.Oktober 1999 Chemnitz : Technische Universität Chemnitz, 1999 |