Micro cycloid-gear system fabricated by multi-exposure LIGA technique
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170046288 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 164-71 |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Symp.on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems (MICRO/MEMS'99), Royal Pines Resort, AUS, October 27-29, 1999 Materials and Device Characterization in Micromachining II :SPIES's Internat.Symp.on Micromachining and Microfabrication 99, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1999 Bellingham, Wash. : SPIE, 1999 (SPIE Proceedings Series ; 3875) |