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Micro cycloid-gear system fabricated by multi-exposure LIGA technique

Hirata, T.; Chung, S. J.; Hein, H.; Akashi, T.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170046288
HGF-Programm 41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten 164-71
Erscheinungsvermerk Internat.Symp.on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems (MICRO/MEMS'99), Royal Pines Resort, AUS, October 27-29, 1999 Materials and Device Characterization in Micromachining II :SPIES's Internat.Symp.on Micromachining and Microfabrication 99, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1999 Bellingham, Wash. : SPIE, 1999 (SPIE Proceedings Series ; 3875)
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