Production of movable metallic microstructures by aligned hot embossing and reactive ion etching

Roetting, O.; Köhler, B.; Reuther, F.; Blum, H.; Bacher, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170046509
HGF-Programm	41.04.04 (Vor POF, LK 01)
Seiten	1038-45
Erscheinungsvermerk	Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, and Microfabrication of MEMS and MOEMS : Paris, F, March 30 - April 1, 1999 Bellingham, Wash. : SPIE, 1999 (SPIE Proceedings Series ; 3680)