Laser induced surface modification of ceramic substrates for thermal and electric lines in microsystems: modeling compared to experiment
Gruhn, H.; Heidinger, R.; Rohde, M.; Rüdiger, S.; Schneider, J.
; Zum Gahr, K. H.
; Zum Gahr, K. H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170046677 |
| HGF-Programm | 41.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 105-08 |
| Erscheinungsvermerk | MSM 99 : Technical Proc.of the 2nd Internat.Conf.on Modeling and Simulation of Microsystems, San Juan, Puerto Rico, April 19-21, 1999 Boston [u.a.] : Computational Publ., 1999 |