Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170046837 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Symp.on Micro/Nano Scale Mechanical Engineering, Seoul, Korea, December 9-10, 1999 Proc.S.1-15 |