Microspectrometer system for the near infrared wavelength range based on the LIGA technology

Krippner, P.; Kühner, T.; Mohr, J.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2000
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170046964
HGF-Programm	41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten	141-49
Erscheinungsvermerk	Mariella, R.P. [Hrsg.] Micro- and Nanotechnology for Biomedical and Environmental Applications, San Jose, Calif., January 26-27, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 3912) (Progress in Biomedical Optics ; Vol.1, No.6)