Electromagnetic microactuators for optical applications

Kunz, Th.; Krippner, P.; Fath, A.; Scherr, M.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2000
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170046987
HGF-Programm	41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten	355-58
Erscheinungsvermerk	ACTUATOR 2000 : 7th Internat.Conf.on New Actuators and Internat.Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, Bremen, June 19-21, 2000 Conf.Proc. Bremen : Messe Bremen GmbH, 2000