Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170046987 |
HGF-Programm | 41.07.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 355-58 |
Erscheinungsvermerk | ACTUATOR 2000 : 7th Internat.Conf.on New Actuators and Internat.Exhibition on Smart Actuators and Drive Systems, Bremen, June 19-21, 2000 Conf.Proc. Bremen : Messe Bremen GmbH, 2000 |