Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170047192 |
HGF-Programm | 41.08.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 416-26 |
Erscheinungsvermerk | Karam, J.M. [Hrsg.] Micromachining and Microfabrication Process Technology, Santa Clara, Calif., September 18-20, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4174) |