Manufacturing of micro-components in a research institute under DIN EN ISO 9001
Maas, D.; Karl, B.; Saile, V.; Schulz, J.
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170047192 |
| HGF-Programm | 41.08.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 416-26 |
| Erscheinungsvermerk | Karam, J.M. [Hrsg.] Micromachining and Microfabrication Process Technology, Santa Clara, Calif., September 18-20, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4174) |