Optical 2x2 switch matrix with electromechanical micromotors

Ruzzu, A.; Haller, D.; Mohr, J.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2000
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170047408
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	67-76
Erscheinungsvermerk	Motamedi, M.E. [Hrsg.] MOEMS and Miniaturized Systems, Santa Clara, Calif., September 18-20, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4178)