Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170047408 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 67-76 |
Erscheinungsvermerk | Motamedi, M.E. [Hrsg.] MOEMS and Miniaturized Systems, Santa Clara, Calif., September 18-20, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4178) |