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Microstructures from polymers

Heckele, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170047506
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk SEMICON Europa 2000 : Course MST/MEMS Technologies, München, April 3, 2000 München : SEMI, 2000
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