Microstructures from polymers
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170047506 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | SEMICON Europa 2000 : Course MST/MEMS Technologies, München, April 3, 2000 München : SEMI, 2000 |