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Rapid fabrication of microcomponents

Hanemann, T.; Hausselt, J.; Ruprecht, R.; Skrifvars, M.; Zum Gahr, K.H.; Pfleging, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170047601
HGF-Programm 41.02.02; LK 01
Seiten 436-43
Erscheinungsvermerk Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS : Part of the Symp., Paris, F, May 9-11, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4019)
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