Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170047601 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 436-43 |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS : Part of the Symp., Paris, F, May 9-11, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4019) |