Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170048074 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 147-48 |
Erscheinungsvermerk | 2000 IEEE/LEOS Internat.Conf.on Optical MEMS, Kauai, Hawaii, August 21-24, 2000 Piscataway, N.J. : IEEE, 2000 |