Standards for microsystem production equipment
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170048124 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 87-94 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] System Integration in Micro Electronics : Exhibition and Conf., Nürnberg, June 27-29, 2000 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2000 |