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Standards for microsystem production equipment

Gengenbach, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170048124
HGF-Programm 41.03.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten 87-94
Erscheinungsvermerk Reichl, H. [Hrsg.] System Integration in Micro Electronics : Exhibition and Conf., Nürnberg, June 27-29, 2000 Berlin [u.a.] : VDE-Verl., 2000
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