Building a cost effective, modular and flexible expandable microsystem fabrication
Hofmann, A.
; Bär, M.
; Bär, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170048540 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 187-90 |
| Erscheinungsvermerk | Microfactory : 2nd Internat.Workshop on Microfactories, Fribourg, CH, October 9-10, 2000 Neuchatel : Swiss Foundation for Research in Microtechnology, 2000 |