KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Building a cost effective, modular and flexible expandable microsystem fabrication

Hofmann, A.; Bär, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170048540
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Seiten 187-90
Erscheinungsvermerk Microfactory : 2nd Internat.Workshop on Microfactories, Fribourg, CH, October 9-10, 2000 Neuchatel : Swiss Foundation for Research in Microtechnology, 2000
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft KITopen Landing Page