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LIGA technology today and its industrial applications

Chung, S.J.; Hein, H.; Mohr, J.; Pantenburg, F.J.; Schulz, J.; Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170048784
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Seiten 44-54
Erscheinungsvermerk Nelson, B.J. [Hrsg.] Microrobotics and Microassembly II, Boston, Mass., November 5-6, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4194)
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