LIGA technology today and its industrial applications
Chung, S. J.; Hein, H.; Mohr, J.; Pantenburg, F. J.; Schulz, J.
; Wallrabe, U.
; Wallrabe, U.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170048784 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 44-54 |
| Erscheinungsvermerk | Nelson, B.J. [Hrsg.] Microrobotics and Microassembly II, Boston, Mass., November 5-6, 2000 Bellingham, Wash. : SPIE, 2000 (SPIE Proceedings Series ; 4194) |