Process modeling of the laser induced surface modification of ceramic substrates for thermal and electrical lines in microsystems
Gruhn, H.; Heidinger, R.; Rohde, M.; Rüdiger, S.; Schneider, J.
; Zum Gahr, K. H.
; Zum Gahr, K. H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170048829 |
| HGF-Programm | 41 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | J5 |
| Erscheinungsvermerk | Kumar, D. [Hrsg.] Laser-Solid Interactions for Materials Processing : Symp., San Francisco, Calif., April 25-27, 2000 Warrendale, Pa. : MRS, 2001.3.1-J5.3.6 (Materials Research Society Symposium Proceedings ; 617) |