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Small tolerances and large areas: micromachining meets industrial requirements

Schaller, Th.; Dittrich, H.; Gerlach, A.; Guber, A.E.; Heckele, M.; Muslija, A.; Wallrabe, U.; Zissler, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170049184
HGF-Programm 41.06.02; LK 01
Seiten 676-79
Erscheinungsvermerk Balsamo, A. [Hrsg.] Precision Engineering and Nanotechnology : Proc.of the 2nd Internat.euspen Conf., Torino, I, May 27-31, 2001 Vol.2 Bedford : euspen, 2001
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