Small tolerances and large areas: micromachining meets industrial requirements

Schaller, Th.; Dittrich, H.; Gerlach, A.; Guber, A. E.; Heckele, M.; Muslija, A.; Wallrabe, U.; Zissler, W.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170049184
HGF-Programm	41.06.02 (Vor POF, LK 01)
Seiten	676-79
Erscheinungsvermerk	Balsamo, A. [Hrsg.] Precision Engineering and Nanotechnology : Proc.of the 2nd Internat.euspen Conf., Torino, I, May 27-31, 2001 Vol.2 Bedford : euspen, 2001