Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170049219 |
HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 137-42 |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 2001 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27-29, 2001 Offenbach [u.a.] : VDE Verl., 2001 |