Development of a micro optical distance sensor with electrical I/O interface

Oka, T.; Nakajima, H.; Shiratsuki, A.; Tsugai, M.; Wallrabe, U.; Hollenbach, U.; Krippner, P.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2001
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170049314
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	536-39
Erscheinungsvermerk	Transducers '01 Eurosensors XV : The 11th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, München, June 10-14, 2001 ; Digest of Technical Papers Berlin [u.a.] : Springer, 2001