Microstructures machined by planing and slotting
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170049421 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 97-98 |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001 |