Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170049424 |
HGF-Programm | 41.03.01 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 272-82 |
Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Cannes, F, April 25-27, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4408) |