| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikroverfahrenstechnik (IMVT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | ISBN: 1-887706-27-5 KITopen-ID: 170049441 |
| HGF-Programm | 41.01.04 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 469-72 |
| Erscheinungsvermerk | Proc.of the 16th Annual Meeting of the American Society for Precision Engineering, Arlington, Va., November 10-15, 2001 Raleigh, N.C. : American Soc.for Precision Engineering, 2001 |