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Neuentwicklung einer Maschinensteuerung bei der Wiederinbetriebnahme eines Röntgenlithographiescanners

Hofmann, A.; Skupin, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2001
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen ID: 170049481
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Seiten 167-75
Erscheinungsvermerk Jamal, R. [Hrsg.] Virtuelle Instrumente in der Praxis 2001 : Automation ; Begleitband zum Kongress, München, 15.-16.März 2001 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2001
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