Neuentwicklung einer Maschinensteuerung bei der Wiederinbetriebnahme eines Röntgenlithographiescanners
Hofmann, A.
; Skupin, H.
; Skupin, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170049481 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 167-75 |
| Erscheinungsvermerk | Jamal, R. [Hrsg.] Virtuelle Instrumente in der Praxis 2001 : Automation ; Begleitband zum Kongress, München, 15.-16.März 2001 Berlin [u.a.] : VDE Verl., 2001 |