Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170049520 |
HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 2001 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27-29, 2001 Berlin : VDI Verl., 2001 S.321-26 Micro System Technologies, 7(2002) S.209-14 DOI: 10.1007/s005420100116 |