A concept for modular fabrication equipment for fluidic microsystems
Hofmann, A.
; Engelhardt, F.; Gengenbach, U.; Scharnowell, R.; Bär, M.
; Engelhardt, F.; Gengenbach, U.; Scharnowell, R.; Bär, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170049529 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 357-62 |
| Erscheinungsvermerk | Reichl, H. [Hrsg.] Microsystem Technologies 2001 : Internat.Conf.and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components, Düsseldorf, March 27-29, 2001 Offenbach [u.a.] : VDE Verl., 2001 |