Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170049649 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 196-98 |
Erscheinungsvermerk | Balsamo, A. [Hrsg.] Precision Engineering and Nanotechnology : Proc.of the 2nd Internat.euspen Conf., Torino, I, May 27-31, 2001 Vol.1 Bedford : euspen, 2001 |
Externe Relationen | Abstract/Volltext |