| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170049651 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 469-77 |
| Erscheinungsvermerk | Courtois, B. [Hrsg.] Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS 2001, Cannes, F, April 25-27, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4408) |
| Externe Relationen | Abstract/Volltext |