| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170049828 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 41 |
| Erscheinungsvermerk | Chinese-German Symp.for Nanotechnology and Microsystems, Beijing, China, May 24-26, 2001 Proc. |