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Micro fabrication technologies for polymers, metals and ceramics

Bley, P.; Fahrenberg, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Mikrotechnologie (MIKRO)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 170049828
HGF-Programm 41.00.00 (Vor POF, LK 01)
Seiten 41
Erscheinungsvermerk Chinese-German Symp.for Nanotechnology and Microsystems, Beijing, China, May 24-26, 2001 Proc.
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