Electrical bottom side contacting of electromechanical LIGA-stuctures by vias and screen printing
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) Institut für Prozessdatenverarbeitung und Elektronik (IPE) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170050012 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'01 : 4th Internat.Workshop on High-Aspect-Ratio Micro-Structure Technology, Baden-Baden, June 17-19, 2001 Book of Abstracts S.247-48 Karlsruhe : Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, 2001 Microsystem Technologies, 8(2002) S.113-15 DOI: 10.1007/s00542-001-0137-7 |