Free space optical components based on LIGA technology
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2002 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170050521 |
| HGF-Programm | 41.08.01 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 106-11 |
| Erscheinungsvermerk | Technical Digest of the 8th Microoptics Conf. (MOC '01), Osaka, J, October 24-26, 2001 Tokyo : The Group of Microoptics, Optical Soc.of Japan, Japan Soc.of Applied Physics, 2001 |