Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik unter Reinraumbedingungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170050528 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 143-80 |
| Erscheinungsvermerk | Reinraumtechnik 2001 : VDI-TGA Fachtagung, Trier, 27.-28.September 2001 Düsseldorf : VDI-Verl., 2001 (VDI-Berichte ; 1611) |