Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2001 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170050666 |
HGF-Programm | 41.08.03 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 331-45 |
Erscheinungsvermerk | Gower, M.C. [Hrsg.] Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing VI, San Jose, Calif., January 22-24, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4274) |