Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Hochleistungsimpuls- und Mikrowellentechnik (IHM) |
Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
Publikationsjahr | 2002 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 170051115 |
HGF-Programm | 31.04.04 (Vor POF, LK 01) |
Seiten | 477-81 |
Erscheinungsvermerk | Mau, T.K. [Hrsg.] Radio Frequency Power in Plasmas : 14th Topical Conf., Oxnard, Calif., May 7-9, 2001 Mellville, N.Y. : AIP, 2001 (AIP Conference Proceedings ; 595) |