Standards for hybrid microsystems production equipment
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Angewandte Informatik (IAI) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2001 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170051143 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 286-92 |
| Erscheinungsvermerk | Nelson, B.J. [Hrsg.] Microrobotics and Microassembly III, Newton, October 29-30, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4568) |