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Standards for hybrid microsystems production equipment

Gengenbach, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Angewandte Informatik (IAI)
Publikationstyp Proceedingsbeitrag
Jahr 2001
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 170051143
HGF-Programm 41.03.02; LK 01
Seiten 286-92
Erscheinungsvermerk Nelson, B.J. [Hrsg.] Microrobotics and Microassembly III, Newton, October 29-30, 2001 Bellingham, Wash. : SPIE, 2001 (SPIE Proceedings Series ; 4568)
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