A modular fabrication concept for EOSS is demonstrated by a micro optical distance sensor

Hollenbach, U.; Krippner, P.; Mohr, J.; Oka, T.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Proceedingsbeitrag
Publikationsjahr	2002
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 170051797
HGF-Programm	41.08.01 (Vor POF, LK 01)
Seiten	35-40
Erscheinungsvermerk	OPTO 2002 : Internat.Conf. Optoelectronics, Optical Sensors and Measuring Techniques, Erfurt, 14.-16.Mai 2002 Wunstorf : AMA Service GmbH, 2002