Promotion of scientific and technological development and industrialization by German MST-associations
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Mikrotechnologie (MIKRO) |
| Publikationstyp | Proceedingsbeitrag |
| Publikationsjahr | 2003 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 170051904 |
| HGF-Programm | 41.00.00 (Vor POF, LK 01) |
| Seiten | 309 |
| Erscheinungsvermerk | COMS 2002 : 7th Internat.Conf.on the Commercialization of Micro and Nanosystems, Ypsilanti, Mich., September 8-12, 2002 Albuquerque, N.M. : MANCEF, 2002 |